作追善菩提和懺悔滅罪，開鑿現被標號為第十六至二十窟的五個大石窟。

這五個大石窟的風格，據學者們說，一面屬於敦煌石窟的系統，另一面則增加了胡族西域君王的雄渾風貌，故有高達十五公尺的造像。此後這種工程，連續到唐代為止，所開石窟，蜿蜒長達十二公里，大小洞窟五十三，石雕造像五萬一千餘尊。

至於主持開創雲岡石窟的釋曇曜，在道宣撰的《續高僧傳》卷一，有他的傳記，現在抄錄其生平及與石窟相關的敍述如下︰

釋曇曜，未詳何許人也。少出家，攝行堅貞，風鑒閑約。以元魏和平年住北臺昭玄統，綏縎僧眾，妙得其心。住恆安石窟通樂寺，即魏帝之所造也。去恆安西北三十里，武周山谷北面石崖，就而鐫之，建立佛寺，名曰靈巖。龕之大者，舉高二十餘丈，可受三千許人，面別鐫像，窮諸巧麗，龕別異狀，駭動人神，櫛比相連三十餘里。

子成文立，即起塔寺，搜訪經典，（太武帝）毀法七載，三寶還興。曜慨前凌廢，欣今重復，故於北臺石窟，集諸德僧，對天竺沙門，譯《付法藏傳》
（編案：即《付法藏因緣傳》）
，并淨土經，流通後賢，意存無絕。

從《續高僧傳》所見的曇曜法師，少年出家，