入寂與付法
大曆九年，自春至夏，不空臥病，帝屢勅使慰問，並遣名醫為侍，病越沈，帝越急。六月十日，御駕親臨不空之臥房，任開府議同三司，封肅國公，食邑三千戶，備極榮寵。不空屢讓不許。六月十五日，臨終上表，以傳承於其本師金剛智的五鈷鈴杵等，奉獻皇上，以陳哀戀之情；是日，右脇累足，恬然示寂。世壽七十，法臘五十。朝野如失師父，代宗宸悼，廢朝三日。七月五日，勅贈司空，諡號大辯正廣智不空三藏和尚。七月七日，荼毘於京城之南的少陵原。弟子飛錫（註三〇），撰〈不空碑文〉。八月二十三日，從荼毘之處，得舍利八十粒，建舍利塔於大興善寺。建中二年（西元七八一年）十一月，俗弟子嚴郢（註三一），為之撰〈不空碑銘〉、〈不空影贊〉，趙遷（註三二）為記不空三藏之〈不空行狀〉，以明其聖跡芳躅。
不空的弟子極多，其中以金閣寺的含光、新羅的慧超、青龍寺的惠果、崇福寺的慧朗（註三三）、保壽寺的元皎（註三四），同為保壽寺的覺超（註三五），合稱為不空門下的六哲（註三六）。